Structural transformations in thin metal films at pulse laser effect
Abstract
Processes occurring in metal films by laser irradiation are reviewed. Driving force of recrystallization, grain growth issues, education grooves of thermal etching, the formation of pores are considered. The preparation of nanoparticles in liquids by laser ablation is also addressed.
About the Authors
M. I. Markevich
Physical Technical Institute of the National Academy of Sciences of Belarus
Belarus
Belarus
A. M. Chaplanov
Physical Technical Institute of the National Academy of Sciences of Belarus
Belarus
Belarus
References
1. Маркевич, М. И. О закалочных явлениях в тонких пленках никеля / М. И. Маркевич, С. Г. Розин, А. М. Чапланов// Изв. СССР. Сер. «Металлы». - 1986. - № 1. - С. 149-151.
2. Маркевич, М. И. Закалка вакансий в тонких пленках никеля /М. И. Маркевич, А. М. Чапланов // Металлофизика. -1985. - Т. 7, № 3. - С. 100-103.
3. Расчет миграции вакансий в тонких пленках никеля при их неравновесной концентрации / М. И. Маркевич [и др.] // Металлофизика. - 1983. - Т. 5, № 3. - С. 109-111.
4. Маркевич, М. И. О возможности закалки пленок алюминия при лазерной обработке / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов // Физика металлов и металловедение. - 1985. - Т. 60, № 2. - С. 405-408.
5. Либенсон, М. Н. Лазерно-индуцированные оптические и термические процессы в конденсированных средах и их взаимное влияние / М. Н. Либенсон. - СПб: Наука, 2007. - 424 с.
6. Маркевич, М. И. Изменение концентрации вакансий в пленках алюминия на подложках при импульсной термообработке / М. И. Маркевич, Э. И. Точицкий, А. М. Чапланов // Физика и химия обработки материалов. - 1987. -№ 6. - С. 92-100.
7. Markevich, M. I. On the kinetiks of redistribution of vacancies in f. c. c. metals films under high rate heating / М. I. Markevich, I. I. Tochizki, A. M. Chaplanov // Thin Solid Films.- 1989. - Vol. 168, N 3. - P. 363-368.
8. Маркевич, М. И. Импульсная лазерная обработка тонких легированных пленок алюминия / М. И. Маркевич, А. Н. Шибко, А. М. Чапланов // Металлофизика. - 1989. - Т. 11, № 3. - С. 21- 24.
9. Термоупругие напряжения в МОП-структурах при импульсном отжиге / М. И. Маркевич [и др.] // Физика и химия обработки материалов. - 1992. - № 2. - С. 55-58.
10. Вейко, В. П. Лазерные технологии в микроэлектронике / В. П. Вейко, С. М. Метев. - София: Изд-во Болгарской АН, 1991. - 363 с.
11. Технология тонких пленок: В 2 т. - М.: Сов. Радио. 1977. - Т. 1. - 602 с. - Т. 2. - 768 с.
12. Точицкий, Э. И. Кристаллизация и термообработка тонких пленок /Э. И. Точицкий. - Минск: Наука и техника, 1976. - 376 с.
13. Трусов, Л. И. Островковые металлические пленки/ Л. И. Трусов, В. А. Холмянский. - М.: Металлургия, 1973. - 321 с.
14. Коттерил, Р. Дислокация и пластическое течение в кристаллах / Р. Коттерил; пер. с англ. - М.: Металлургия. -1988. - 267 с.
15. Исследование структуры тонких металлических пленок после воздействия фемтосекундных лазерных импульсов /В. П. Вейко [и др.] // Науч.-техн. вестн. Санкт-Петербургского гос. ун-та информационных технологий, механики и оптики. - 2010. - № 5. - Т. 69. - С. 21-25.
16. Влияние импульсного лазерного воздействия на структуру тонких пленок никеля / В. К. Гончаров [и др.] // Вести Гомельского государственного ун-та им. Ф. Скорины. - 2006. - № 6 (39). - Ч. 1. - С. 58-60.
17. Образование пор в тонких пленках никеля при лазерном воздействии / В. К. Гончаров [и др.] // Неорганические материалы. - 2007. - Т. 43, № 5. - С. 556-559.
18. Чапланов, А. М. Особенности рекристаллизации тонких металлических пленок при стационарном и импульсном отжиге / А. М. Чапланов, М. И. Маркевич // Неорганические материалы. - Т. 39, № 3. - С. 322-324.
19. Маркевич, М. И. Особенности быстрого термического отжига при импульсной световой обработке / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов// Физика и химия обработки материалов. - 2002. - № 4. - С. 102-106.
20. Чапланов, А. М. Рекристаллизация в металлических пленках при стационарной и импульсной термообработке / А. М. Чапланов // Физика металлов и металловедение. - 1990. - № 8. - C. 134-141.
21. Маркевич, М. И. Стимулированная собирательная рекристаллизация в тонких пленках ГЦК-металлов при воздействии импульсного лазерного излучения / М. И. Маркевич // Неорганические материалы. - 2000. - Т. 36, № 7. - С. 825-827.
22. Mullins, W. W. Theory of Thermal Growing / W. W Mullins // J. Appl. Phys. - 1957. - Vol. 8, N 3. - P. 333-341.
23. Markevich, M. I. In sulphurous liquids under action of chock waves / M. I. Markevich, F. A. Piskunov // High Power Laser-Science and Engineering. - Karlovy Vary: Czech R. NATO Advanced study institute, 1995. - P. 49.
24. Markevich, M. I. Pulsed Laser-induced Syntesis of Metal Sulfides in Sylphurous Liquids under Action of Shock Waves / M. I. Markevich, F. A. Piskunov // High Power Lasers-Science and Engineering; еd. by R. Kossowsky, M. Elinek, R. F. Walter. - Dordrecht: Kluwer Academic Publishers, 1996. - Vol. 7. - P. 561-565.
25. Возможности получения наночастиц никеля в водной среде с помощью лазерного воздействия / В. К. Гончаров [и др.] // Инженерно-физический журнал. - 2008. - Т. 81, № 2. - С. 206- 210.
26. Исследование коллоидных растворов селена, созданных по лазерной технологии / Е. Е. Казилин [и др.] // Перспективные материалы. - 2008. - № 3. - С. 60 -63.
27. Формирование коллоидных растворов металлов в воде методом лазерной абляции / В. К. Гончаров [и др.]// Актуальные проблемы физики твердого тела. - Минск, 2009. - С. 381-382.
28. Палатник, Л. С. Ориентированная кристаллизация / Л. С. Палатник, И. И. Папиро. - М.: Металлургия, 1964. - 407 с.
Review
Views: 666
Email this article 
