Методы электрохимического формирования однослойных и двухслойных мембранных структур на основе наноструктурированного анодного оксида алюминия

Аннотация

Разработаны технологические способы формирования свободных пористых однослойных Al₂O₃-мембран толщиной 30-70 мкм со сквозными каналами модифицированных пор диаметром 50-90 нм с использованием двухстадийного одностороннего анодирования в электролите щавелевой кислоты и комбинированной методики удаления барьерного слоя. Изучены технологические особенности создания двухслойных Al₂O₃-мембран толщиной 73-216 мкм с диаметром пор 55 нм с применением двухстороннего сквозного анодирования и последующего биполярного анодирования для исключения локальных внутренних Al-включений.