Методы электрохимического формирования однослойных и двухслойных мембранных структур на основе наноструктурированного анодного оксида алюминия
Анатацыя
Разработаны технологические способы формирования свободных пористых однослойных Al2O3-мембран толщиной 30-70 мкм со сквозными каналами модифицированных пор диаметром 50-90 нм с использованием двухстадийного одностороннего анодирования в электролите щавелевой кислоты и комбинированной методики удаления барьерного слоя. Изучены технологические особенности создания двухслойных Al2O3-мембран толщиной 73-216 мкм с диаметром пор 55 нм с применением двухстороннего сквозного анодирования и последующего биполярного анодирования для исключения локальных внутренних Al-включений.
Аб аўтарах
Д. Шиманович
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
В. Сокол
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Д. Чушкова
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Спіс літаратуры
1. Сокол В. А., Яковцева В. А., Шиманович Д. Л. // Докл. БГУИР. 2012. № 2. С. 21-27.
2. Сокол В. А., Шиманович Д. Л., Сякерский В. С. // Докл. БГУИР. 2009. № 6. С. 36-41.
3. Литвинович Г. В., Шиманович Д. Л. // Докл. БГУИР. 2013. № 3. С. 39-44.
4. Сокол В. А., Шиманович Д. Л., Литвинович Г. В. // Докл. БГУИР. 2012. № 8. С. 44-49.
5. Шиманович Д. Л., Чушкова Д. И., Сокол В. А. // Сб. матер. VII Всерос. конф. молодых ученых «Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика», 24-26 сент. 2012 г., Саратов. Саратов, 2012. С. 188-189.
6. Чушкова Д. И., Шиманович Д. Л., Сокол В. А. // Сб. науч. трудов V междунар. науч. конф. «Материалы и структуры современной электроники», 10-11 окт. 2012 г., Минск. Мн., 2012. С. 195-199.
7. Shimanovich D. L., Sokol V. A., Jakovceva V. A., Chushkova D. I. // Сб. матер. XVII междунар. науч.техн. конф.«Современные средства связи», 16-18 окт. 2012 г., Минск. Мн., 2012. С. 140-141.
8. Шиманович Д. Л., Чушкова Д. И., Сокол В. А. // Сб. трудов XIV междунар. конф. «Опто, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы», 4-7 сент. 2012 г., Ульяновск. Ульяновск, 2012. С. 19-20.
##reviewer.review.form##
Праглядаў: 574
Паслаць артыкул па эл. пошце 
