ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ КОНДЕНСАЦИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК И ПРЕДПРОИЗВОДСТВЕННЫЙ АНАЛИЗ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕСТРАИВАЕМЫХ ФИЛЬТРОВ

Линейные перестраиваемые фильтры являются одним из перспективных видов оптических изделий для создания приборов спектрометрии различного назначения. Применение данного вида изделий позволяет без снижения характеристик значительно упрощать оптическую схему прибора. При использовании с классическими схемами линейные перестраиваемые фильтры дают возможность улучшить характеристики оптических устройств. С точки зрения технологии изготовление такого вида полосовых фильтров представляет собой достаточно сложную задачу. В статье представлены текущие результаты по разработке технологии производства линейных перестраиваемых фильтров. В ходе проведения работы было создано программное обеспечение, позволяющее рассчитывать распределение сконденсированного материала на поверхности подложки с учетом геометрии источника, подложки, масок и всей системы в целом. Проведен расчет оптических характеристик и анализ физических толщин линейного перестраиваемого фильтра, получены зависимости изменения толщины покрытия от координаты подложки. В основу геометрической модели для расчета легла геометрия вакуумного технологического оборудования Advanced Optical Coater (ВТО AOC) производства OOO «ИЗОВАК» (Республика Беларусь). Исходя из полученных данных при помощи программного обеспечения предложена оптимальная геометрия вакуумной маски для получения требуемого спектрального градиента. 

1. Wolfe, W. L. Introduction to Imaging Spectrometers / W. L. Wolfe. – Bellingham: SPIE Optical Engineering Press, 1997. – 148 с.

2. Каширин, В. И. Основы формообразования оптических поверхностей / В. И. Каширин. – Екатеринбург: ГОУ ВПО УГТУ – УПИ, 2006. – 254 с.

3. Oliver, J. Analysis of a planetary-rotation system for evaporated optical coatings / J. Oliver, D. Talbot // Appl. Opt. – 2006. – Vol. 45, N 13. – P. 3097–3105.

4. Theoretical design of shadowing masks for uniform coatings on spherical substrates in planetary rotation systems / Liu Cunding [et al.] // Opt. Express. – 2012. – Vol. 20, N 21. – P. 23790–23797.

5. Сеник, Б. Н. Метод определения площади функциональной маски для вакуумной асферизации / Б. Н. Сеник // Приклад. физика. – 2007. – № 3. – С. 129–135.