Preview

Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук

Расширенный поиск

Сплавы системы Cr–Ni–Si для получения резистивных элементов интегральных микросхем методом магнетронного распыления

https://doi.org/10.29235/1561-8358-2020-65-1-35-42

Полный текст:

Аннотация

Представлены результаты исследования влияния режимов термообработки на удельное поверхностное сопротивление (УПС) и температурный коэффициент сопротивления (ТКС) резистивных пленок, полученных из мишеней системы Cr–Ni–Si методом магнетронного распыления. На основании обобщения экспериментальных данных предложена диаграмма состав–УПС пленок системы Cr–Ni–Si толщиной 100 нм. Установлено, что резистивные пленки системы Cr–Ni–Si, нанесенные методом магнетронного распыления на кремниевые полупроводниковые пластины с подслоем SiO2, при толщине 100 нм имеют УПС до 350 Ом/кв. Показано, что для изготовления мишеней магнетронных распылительных систем (МРС) методом литья необходимо снизить температуру плавления и хрупкость сплавов, то есть определить их эвтектические составы. Проведены расчеты и установлено, что эвтектики в системе Cr–Ni–Si содержат 36,4 и 38,5 ат.% Ni, что в 4–6 раз выше, чем у сплавов серии РС этой системы. В связи с большим содержанием Ni УПС пленок эвтектических составов толщиной 100 нм находится в диапазоне от 100 до 200 Ом/кв. Отмечено, что для повышения УПС резистивных пленок и снижения температуры плавления сплавов целесообразна разработка новых четырех- и пятикомпонентных сплавов на основе системы Cr–Ni–Si с введением в нее тугоплавких (Mo, Nb) и редкоземельных (La, Y) элементов.

Об авторах

А. Т. Волочко
Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси
Беларусь

Волочко Александр Тихонович – доктор технических наук, профессор, начальник отдела

ул. Академика Купревича, 10, 220141, Минск



В. А. Зеленин
Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси
Беларусь

Зеленин Виктор Алексеевич – доктор технических наук, главный научный сотрудник

ул. Академика Купревича, 10, 220141, Минск



Н. Ю. Мельник
Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси
Беларусь

Мельник Наталья Юрьевна – научный сотрудник

ул. Академика Купревича, 10, 220141, Минск



Список литературы

1. Технология тонких пленок / под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга; пер. с англ. под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. – М.: Совет. радио, 1977. – Т. 2. – 768 с.

2. Готра, З. Ю. Резистивные материалы для низкоомных тонкопленочных резисторов интегральных схем / З. Ю. Готра, А. Н. Войтеков, И. Я. Хромяк // Электронная техника. Сер. 3, Микроэлектроника. – 1984. – № 2. – С. 47–80.

3. Структура, топология и свойства пленочных резисторов / Л. И. Гурский [и др.]; под ред. В. А. Лабунова. – Минск: Наука и техника, 1987. – 264 с.

4. Крукович, М. Г. Расчет эвтектических концентраций и температуры в двух- и многокомпонентных системах / М. Г. Крукович // Металловедение и термическая обработка металлов. – 2005. – № 10. – С. 9–17.


Просмотров: 54


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1561-8358 (Print)
ISSN 2524-244X (Online)