Формирование и перспективы применения пленочных структур с использованием анодирования, золь-гель-синтеза и фотолитографии
Анатацыя
Представлены результаты изготовления планарных структур на основе ксерогелей, сформированных на пористом анодном оксиде алюминия различной морфологии, с применением фотолитографии без металлической маски. Методом растровой электронной микроскопии исследовалась морфология структур ксерогель оксида титана/пористый анодный оксид алюминия, отличающихся размером пор анодного оксида алюминия, после фотолитографии и химического травления. Установлено, что более четкие стенки микроцилиндров и микродисков формируются при использовании пористого анодного оксида алюминия с размером пор менее 50 нм, что обусловлено заполнением пор ксерогелем оксида титана. Изготовлены экспериментальные образцы микроцилиндров на основе пористого анодного оксида алюминия толщиной от 30 до 50 мкм и размером пор 20-25 нм с применением анодирования, золь-гель-метода формирования пленок и фотолитографии.
Аб аўтары
Н. Гапоненко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Спіс літаратуры
1. Gaponenko N. V. // Acta Physica Polonica. 2007 N 112.P. 737-749.
2. Masuda H. et al. // Appl. Phys. Lett 1997 Vol.71, N 19. P 2770-2772.
3. Желтиков А. М // Успехи физических наук. 2000. Т. 170, N 11.С. 1203-1215.
4. Гапоненко Н. В., Ореховская Т. И., Меледина М. В. и др. Способ формирования рисунка для получения люминесцентного изображения на алюминиевой поверхности: Пат. РБ 15052.
5. Yang L., Armani D. K., Vahala K. J. // Appl. phys. lett. 2003. Vol. 83, N 5. P 825-826.
6. Polman A. // J. Appl. Phys. 1997 Vol. 82, N 1. P 1-38.
7. Gaponenko N. V. et al. // Microelectron. Eng. 2012. Vol. 90. P 131-137
8. Gaponenko N. V. et al. // J Appl. Phys. 2012. Vol. 111.P. 103-109.
9. Сокол В. А. Анодные оксиды алюминия: монография. Мн. , 2011.
10. Gaponenko N. V. et al. // Sens. Actuators A. 2002. Vol. 99. P 71-73
11. Gaponenko N. V. et al. // J Electrochem. Soc. 2001. Vol. 148, N 2. P H13-H16
12. Molchan I. S. et al. // J Electrochem. Soc. 2004. Vol. 151, N 1.P. H16-H20
##reviewer.review.form##
Праглядаў: 515
Паслаць артыкул па эл. пошце 
