Formation and prospects of application of film structures with anodizing, sol-gel synthesis and photolithography
Abstract
The results of fabrication of planar structures on the basis of xerogels, generated on porous anodic alumina of diverse morphology, with the use of photolithography without metal mask are presented. Scanning electron microscopy revealed formation of relatively perfect walls of the structures for porous anodic alumina with size of the pores less then 50 nm. The perspectives of application of the structures xerogel/porous anodic alumina in optoelectronics are discussed.
About the Author
N. V. Gaponenko
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
References
1. Gaponenko N. V. // Acta Physica Polonica. 2007 N 112.P. 737-749.
2. Masuda H. et al. // Appl. Phys. Lett 1997 Vol.71, N 19. P 2770-2772.
3. Желтиков А. М // Успехи физических наук. 2000. Т. 170, N 11.С. 1203-1215.
4. Гапоненко Н. В., Ореховская Т. И., Меледина М. В. и др. Способ формирования рисунка для получения люминесцентного изображения на алюминиевой поверхности: Пат. РБ 15052.
5. Yang L., Armani D. K., Vahala K. J. // Appl. phys. lett. 2003. Vol. 83, N 5. P 825-826.
6. Polman A. // J. Appl. Phys. 1997 Vol. 82, N 1. P 1-38.
7. Gaponenko N. V. et al. // Microelectron. Eng. 2012. Vol. 90. P 131-137
8. Gaponenko N. V. et al. // J Appl. Phys. 2012. Vol. 111.P. 103-109.
9. Сокол В. А. Анодные оксиды алюминия: монография. Мн. , 2011.
10. Gaponenko N. V. et al. // Sens. Actuators A. 2002. Vol. 99. P 71-73
11. Gaponenko N. V. et al. // J Electrochem. Soc. 2001. Vol. 148, N 2. P H13-H16
12. Molchan I. S. et al. // J Electrochem. Soc. 2004. Vol. 151, N 1.P. H16-H20
Review
Views: 516
Email this article 
