Preview

Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук

Расширенный поиск

Калибровочные коэффициенты для определения концентрации вакансионно-кислородных комплексов и кислородного димера в кремнии методом ИК-поглощения

https://doi.org/10.29235/1561-8358-2021-66-2-227-233

Полный текст:

Аннотация

Вакансионно-кислородные комплексы VnOm (n, m ≥ 1) в кристаллах кремния являются центрами зарождения кислородных преципитатов, которые широко используются в качестве внутренних геттеров нежелательных примесей в современных технологиях изготовления кремниевых электронных приборов и интегральных ми кросхем. Для контролируемого формирования кислородных преципитатов в кристаллах Si в технологических процессах необходимы методы измерения концентрации комплексов VnOm. Целью настоящей работы было нахождение калибровочных коэффициентов для определения концентрации вакансионно-кислородных дефектов в кремнии из интенсивностей полос инфракрасного (ИК) поглощения, связанных с локальными колебательными модами (ЛКМ) этих комплексов. С использованием электрических (эффект Холла) и оптических (ИК поглощение) измерений проведено комплексное исследование вакансионно-кислородных центров в кристаллах кремния, облученных электронами с энергией 6 МэВ. На основе анализа полученных данных установлены значения калибровочных коэффициентов для определения концентрации комплекса вакансия-кислород (VO) в кремнии методом инфракрасного поглощения: для измерений при комнатной температуре (RT) – NVO = 8,5 · 1016 · αVO-RT см–3, в случае низкотемпературных (LT, Т ≡ 10 К) измерений – N VO = 3,5 · 1016 · αVO-LT см–3, где αVO-RT(LT) – коэффициенты поглощения в максимумах полос ЛКМ комплекса VO в спектрах, измеренных при соответствующей температуре. Установлены также калибровочные коэффициенты для определения концентраций других вакансионно-кислородных комплексов VnOm (VO2, VO3, VO4, V2O и V3O) и кислородного димера (O2) из анализа спектров поглощения измеренных при комнатной температуре.

Об авторах

И. Ф. Медведева
Белорусский государственный медицинский университет
Беларусь

Медведева Ирина Федоровна – кандидат физико-математических наук, доцент

пр. Дзержинского, 83, 220016, Минск, Республика Беларусь



В. П. Маркевич
Институт фотоники Университета г. Манчестер
Великобритания

Маркевич Владимир Павлович – кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник

Manchester M13 9PL, United Kingdom



Е. А. Толкачева
Научно-практический центр Государственного комитета судебных экспертиз Республики Беларусь
Беларусь

Толкачева Екатерина Анатольевна – кандидат физико-математических наук, заместитель начальника центра

ул. Филимонова, 25, 220114, Минск, Республика Беларусь



Е. А. Фадеева
Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению
Беларусь

Фадеева Елена Александровна – кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник

ул. П. Бровки, 19, 220072, Минск, Республика Беларусь



Д. Н. Жданович
Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению
Беларусь

Жданович Дмитрий Николаевич – младший научный сотрудник

ул. П. Бровки, 19, 220072, Минск, Республика Беларусь



Л. И. Мурин
Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению
Беларусь

Мурин Леонид Иванович – кандидат физико-математических наук, ведущий научный сотрудник

ул. П. Бровки, 19, 220072, Минск, Республика Беларусь



Просмотров: 72


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1561-8358 (Print)
ISSN 2524-244X (Online)